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高纯电子混合气
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产品描述
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产品名称 |
主要应用领域及应用工艺 |
所处阶段 |
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集成电路 |
新型显示 |
光伏 |
LED |
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乙硼烷混合气 硅烷混合气 磷烷混合气等 |
掺杂、离子注入、沉积 |
掺杂 |
沉积 |
沉积 |
量产 |
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