高纯有机气体
产品名称 |
主要应用领域及应用工艺 |
所处阶段 |
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集成电路 |
新型显示 |
光伏 |
LED |
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高纯丙烯(4N5) 高纯乙炔(4N) 高纯三氟碘甲烷(4N)等 |
沉积、刻蚀 |
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量产/送样 |
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